芯片無塵室凈化等級及車間規劃要點
發布時間：2023-08-15來源：上海鑫睿實驗室系統工程供應商
十、百、千、萬、十萬級等等這些是無塵車間分出來的幾個等級，很多電子產品都離不開芯片，所以，可以說芯片在現下是非常火熱的產品，只是要將它生產出來要求是比較高的，芯片廠房的潔凈度是要達到多少級！
芯片廠房的潔凈度正常是要求在百級這個等級，當然不同的產品要求也會不同，像要求不高的廠房，是可以適當放寬等級的。半導體材料電子器件的集成化度是在半導體材料電子器件工作環境中要求氣體潔凈度等級的關鍵點，不一樣的工藝流程中可能環境污染的幾率和對電子元器件的潛在性常見故障是明確氣體潔凈度等級的依據。
氣體潔凈度對于半導體材料生產制造行業中是有著很高的規定，“百級”潔凈度是基本建設的芯片廠房需達到的潔凈度。何為“百級”潔凈：就是每立方英寸空氣中粒度等于或高于0.5μm的顆粒總數不會超過100個，這可不亞于最大潔凈等級規范。選用華夫板（運用混凝土樓板內孔眼產生送風安全通道的混凝土樓板）高精度工程施工建設芯片廠房，是為了保證“百級”潔凈度，同時創建送風安全通道即由潔凈中央空調排風系統產生。選用的華夫板厚度為70厘米，抗微震是它的特點；華夫板總面積達1400多平方米，在其中混凝土澆筑有35000個直徑35厘米的奇氏筒，相當于每2平方米就會有5個用來通氣的環形圓孔。到生產的時候，芯片的生產線便是布局于華夫板之上，為了確保正壓力，生產車間運用家用新風系統進氣口，并使用華夫板送風安全通道排氣管排氣，最后實現了生產車間的潔凈度。
目前世界各國的電子器件生產制造企業、生產廠家對電子器件潔凈廠房各工藝流程（車間）要求的氣體潔凈度等級是根據分別生產制造的產品類別、采用的制作工藝的技術性、生產設備、生產制造用的原輔材料及其潔凈室的社會經驗等經濟發展地來明確的。根據大數據統計，各國的電子器件生產制造企業、生產廠家在修建電子器件車間凈化工程項目的潔凈廠房時所用的氣體潔凈室的平面圖、潔凈度等級以及空氣凈化設備、空間規劃、潔凈室工程建筑等層面的技術規范和措施的設計方案均各有特色、各有不同。
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