芯片無塵室凈化等級及車間規(guī)劃要點
發(fā)布時間：2023-08-15來源：上海鑫睿實驗室系統(tǒng)工程供應(yīng)商
十、百、千、萬、十萬級等等這些是無塵車間分出來的幾個等級，很多電子產(chǎn)品都離不開芯片，所以，可以說芯片在現(xiàn)下是非常火熱的產(chǎn)品，只是要將它生產(chǎn)出來要求是比較高的，芯片廠房的潔凈度是要達到多少級！
芯片廠房的潔凈度正常是要求在百級這個等級，當然不同的產(chǎn)品要求也會不同，像要求不高的廠房，是可以適當放寬等級的。半導(dǎo)體材料電子器件的集成化度是在半導(dǎo)體材料電子器件工作環(huán)境中要求氣體潔凈度等級的關(guān)鍵點，不一樣的工藝流程中可能環(huán)境污染的幾率和對電子元器件的潛在性常見故障是明確氣體潔凈度等級的依據(jù)。
氣體潔凈度對于半導(dǎo)體材料生產(chǎn)制造行業(yè)中是有著很高的規(guī)定，“百級”潔凈度是基本建設(shè)的芯片廠房需達到的潔凈度。何為“百級”潔凈：就是每立方英寸空氣中粒度等于或高于0.5μm的顆粒總數(shù)不會超過100個，這可不亞于最大潔凈等級規(guī)范。選用華夫板（運用混凝土樓板內(nèi)孔眼產(chǎn)生送風(fēng)安全通道的混凝土樓板）高精度工程施工建設(shè)芯片廠房，是為了保證“百級”潔凈度，同時創(chuàng)建送風(fēng)安全通道即由潔凈中央空調(diào)排風(fēng)系統(tǒng)產(chǎn)生。選用的華夫板厚度為70厘米，抗微震是它的特點；華夫板總面積達1400多平方米，在其中混凝土澆筑有35000個直徑35厘米的奇氏筒，相當于每2平方米就會有5個用來通氣的環(huán)形圓孔。到生產(chǎn)的時候，芯片的生產(chǎn)線便是布局于華夫板之上，為了確保正壓力，生產(chǎn)車間運用家用新風(fēng)系統(tǒng)進氣口，并使用華夫板送風(fēng)安全通道排氣管排氣，最后實現(xiàn)了生產(chǎn)車間的潔凈度。
目前世界各國的電子器件生產(chǎn)制造企業(yè)、生產(chǎn)廠家對電子器件潔凈廠房各工藝流程（車間）要求的氣體潔凈度等級是根據(jù)分別生產(chǎn)制造的產(chǎn)品類別、采用的制作工藝的技術(shù)性、生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)制造用的原輔材料及其潔凈室的社會經(jīng)驗等經(jīng)濟發(fā)展地來明確的。根據(jù)大數(shù)據(jù)統(tǒng)計，各國的電子器件生產(chǎn)制造企業(yè)、生產(chǎn)廠家在修建電子器件車間凈化工程項目的潔凈廠房時所用的氣體潔凈室的平面圖、潔凈度等級以及空氣凈化設(shè)備、空間規(guī)劃、潔凈室工程建筑等層面的技術(shù)規(guī)范和措施的設(shè)計方案均各有特色、各有不同。
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